네덜란드 정부가 미국 주도의 대(對)중국 반도체 제재에 합류한다.
네덜란드 정부는 지난 1월 동참 의사를 밝힌 미국의 대중국 반도체 장비 수출 금지와 관련한 세부사항을 8일(현지시간) 밝혔다.
리에 슈라이네마허 네덜란드 대외무역·개발협력부 장관은 이날 의회에 보낸 보고서를 통해 자국 반도체 제조장비 회사들은 앞으로 최첨단 반도체 제조 장비를 중국에 수출하려면 정부의 허가를 받아야 한다고 했다.
슈라이네머허 장관은 ASML의 심자외선(DUV) 장비 중 가장 첨단 기술인 액침 노광(immersion lithography) 등을 포함한 고사양 반도체 제조장비가 포함될 것이라고 설명했다. 다만, 이번 조치로 어떤 반도체 제조장비가 영향을 받는지에 대해서는 구체적으로 명시하지 않았다.
그는 보고서에서 “기술 발전과 지정학적 상황을 고려해, (네덜란드) 정부는 국가 안보를 위해서 특정 반도체 생산 장비에 대한 기존 수출 통제를 확대하는 것이 필요하다고 결론을 내렸다”고 했다.
네덜란드 정부는 2019년부터 ASML의 EUV 노광장비의 대중국 수출은 금지했으나, 이전 세대 DUV노광장비의 수출은 막지 않았다. 이번 조치가 도입되면, DUV노광장비의 중국 수출도 막힐 것으로 보인다. 다만, 입법 등 관련 규제가 실제 적용되기까지는 시간이 걸릴 것으로 예상된다.
아울러 슈라이네머 장관은 바세나르 체제와 유사한 그룹을 통해 글로벌 통제를 추진할 것이라고 밝혔다. 바세나르 체제는 군사 무기에 사용될 수 있는 기술 등의 수출을 제한한다.
ASML은 이날 보도자료를 내고 정부의 조치가 특정 모델에만 제한을 가하는 점에 비춰, 올해를 포함한 중장기적인 재무 전망에 큰 영향을 미치지 않을 것으로 봤다. ASML은 “최첨단의 정확한 정의에 대한 추가 정보를 받지 못했으나, 이를 액침 기술(critical immersion)로 본다”고 밝혔다. TWINSCAN NXT:2000i와 이후 모델이 금수조치에 포함될 것이라고 파이낸셜타임스(FT)는 전했다.
미국은 중국이 최첨단 반도체를 손에 넣을 수 있는 길을 완전히 막기 위해 지난 1월 네덜란드와 일본을 설득해 대중국 반도체 수출 금지에 합류시켰다.
미국은 지난해 10월에 어플라이드 머티어리얼즈, 램 리서치, KLA 등 자국 반도체 제조장비 회사들의 중국 수출을 금지했다. 당시 미국 관리들은 네덜란드와 일본 등 동맹국들에 “우리가 게임에 목숨을 걸고 있다”는 것을 보여주기 위해, 자국 업체들에도 피해를 주는 규제를 도입했다고 강조했다.
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