KAIST·삼성전자, 저비용 LCD 공정기술 개발

(아주경제 권석림 기자) 한국과학기술원(KAIST) 신소재공학과 김상욱 교수팀은 삼성전자 LCD사업부와 함께 저비용 대면적 나노패턴기술을 개발하는 데 성공했다고 23일 밝혔다.

이를 통해 차세대 반도체나 스플레이 분야에 폭넓게 이용될 수 있을 것으로 기대된다.

자연적으로 형성되는 블록 공중합체 나노패턴은 그 배열이 불규칙하고 결함이 많아 반도체나 디스플레이에 이용하기 위해서는 임의의 대면적에서 나노패턴을 원하는 형태로 잘 정렬시켜야 한다.

김 교수팀은 이번에 개발된 융합 기술을 통해 저비용 패턴공정인 디스플레이용 광리소그라피로 대면적에서 마이크로미터(1㎛=100만분의 1m) 크기의 패턴을 만든 후, 분자조립현상을 이용해 수십 나노미터(1㎚=10억분의 1m) 크기의 패턴으로 밀도를 백 배이상 증폭시켜 대면적에서 잘 정렬된 나노패턴을 형성시키는데 성공했다.

연구책임자인 김상욱 교수는 “이번 연구결과는 분자조립 나노패턴기술을 저비용, 대면적화 함으로써 실제 나노소자공정에 이용할 수 있는 가능성을 크게 높였다는데 의미가 있다”고 말했다.

이번 기술은 최근 나노기술분야의 세계적인 학술지인 ‘ACS 나노지’ 8월 19일자 온라인 판에 소개됐다.

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