(아주경제 이지현 기자) 테스는 8일 반도체 제조용 챔버 관련 특허권을 취득했다고 공시했다. 회사측은 “이 기술로 챔버에 결합된 각종 모듈의 유지 및 보수작업이 용이하게 이뤄질 것”이라고 밝혔다.
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(아주경제 이지현 기자) 테스는 8일 반도체 제조용 챔버 관련 특허권을 취득했다고 공시했다. 회사측은 “이 기술로 챔버에 결합된 각종 모듈의 유지 및 보수작업이 용이하게 이뤄질 것”이라고 밝혔다.
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