<공시> 테스, 반도체 식각장비 관련 특허권 취득

(아주경제 이지현 기자) 테스는 반도체 제조 장비 및 이를 이용한 실리콘 산화막 건식 식각 방법 관련 특허권을 취득했다고 10일 공시했다.