테스는 “본 발명에 의하면 전체적으로 균일한 플라즈마 분포를 구현할 수 있으며 증착 균일도를 보다 향상시킬 수 있다”고 말했다.
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아주경제 이광효 기자=테스는 19일 공시를 통해 플라즈마 발생용 전극 특허권을 취득했다고 밝혔다.
테스는 “본 발명에 의하면 전체적으로 균일한 플라즈마 분포를 구현할 수 있으며 증착 균일도를 보다 향상시킬 수 있다”고 말했다.
테스는 “본 발명에 의하면 전체적으로 균일한 플라즈마 분포를 구현할 수 있으며 증착 균일도를 보다 향상시킬 수 있다”고 말했다.
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