<공시> 참엔지니어링, 기판 수리 장치 관련 특허권 취득

아주경제 이광효 기자=참엔지니어링은 6일 공시를 통해 기판 수리 장치 특허권을 취득했다고 밝혔다.

참엔지니어링은 해당 특허에 대해 “본 발명에 따른 기판 수리 장치는 다양한 사이즈의 기판이 스테이지부에 로딩될 때 스테이지부에 대한 각 기판의 얼라인먼트가 자동으로 수행되고, 기판의 사이즈에 따라 지지핀의 위치가 적합하게 배열돼 다양한 사이즈의 기판을 스테이지부 상에 자동으로 로딩시킬 수 있고, 기판 지지핀이 측방으로 이동해 상부 플레이트의 측부에 가깝게 배치돼 기판의 지지되지 않는 마진과 지지되는 무게의 편중을 줄임으로써 기판의 휨 현상을 방지할 수 있는 기술”이라고 말했다.