인텍플러스는 이날 해당 특허에 대해 “본 발명은 백색광 주사 간섭 원리를 이용하는 단일 장비에서 2차원과 3차원 정보 획득을 모두 실시할 수 있으며, 측정물 전체 면적에 대한 검사를 수행하는 대신 특정 영역에 대해서만 3차원 검사를 수행할 수 있도록 하는 표면 형상 측정 시스템 및 그를 이용한 측정 방법에 관한 것”이라고 말했다.
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