이 사고로 무색무취의 압축가스로 독성이 있는 NF3가 30∼40㎏ 정도가 유출됐다. 이 물질은 산화성 가스로 반도체와 LCD 공정 장비 내 챔버를 세정하는 특수가스다.
이와 관련해 회사 측은 이 물질이 인체에 해가 없다고 밝혔다.
이날 화재는 NF3(삼불화질소) 반도체 세정가스 충전소에서 이씨가 가스 이송 차량에 세정가스를 충전하려다가 일어났다. 차량의 가스 주입 호스가 파열돼 마찰열이 생기면서 순간적인 폭발로 화재가 나면서 이씨가 얼굴에 3도 화상을 입었다.
불은 또 가스 이송 차량에 옮아 붙어 차량 타이어를 태우기도 했고 인근 야산으로 번져 1천㎡의 임야를 태웠다.
울산시소방본부는 소방차 13대와 소방인력 44명을 동원, 50분 만에 불을 껐다.
한편 이날 사고로 소방서 추산 3630만원의 재산피해가 났다.
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