국내 반도체 공정 기술, 첫 국제 표준 됐다

아주경제 이재호 기자= 국내 반도체 공정 기술이 사상 처음으로 국제 표준이 됐다.

14일 반도체산업협회와 국제반도체장비재료협회(SEMI)에 따르면 국내외 반도체 기업 100여개가 참여하는 정보·제어 기술 위원회(I&C Technical Committee)는 최근 국내 반도체 공정기술을 국제 표준 SEMI E5-0712로 채택했다.

반도체 공정에 사용되는 850여개 SEMI 표준 가운데 국내에서 제정한 표준이 채택된 것은 이번이 처음이다.

SEMI E5-0712는 반도체 장비 간의 통신 규격에 관한 것으로 반도체 제조 공장 자동화에 필수적으로 필요한 소프트웨어 분야 표준이다.

이 기술은 자동화 설비를 변경할 때 발생하는 장비 간의 통신 오류를 낮춰 통신 편의성을 높인 게 특징이다.

이번 표준 제정은 반도체산업협회에서 지식경제부 산업융합원천기술개발사업으로 수행 중인 차세대 반도체 장비 및 소자의 표준화 기술개발 과제 중 하나로 추진됐다.