이날 협약식에는 김 차관을 비롯해 박영준 서울대 교수, 이기섭 산업기술평가관리원장, 이원형 도쿄일렉트론 코리아 회장, 김영선 ASML 코리아 사장, 권오현 삼성전자 부회장, 박성욱 SK하이닉스 사장, 김용길 Applied Materials 코리아 반도체 사장, 서인학 Lam Research 코리아 사장, 양준철 반도체산업협회 부회장 등이 참석했다.
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