핵융합연구소, 아바코와 상호협력 협약 체결... 신개념 스퍼터 장비 및 디스플레이 관련 분야 협력 추진

[김기만 국가핵융합연구소장(오른쪽)과 김광현 아바코 대표이사 (왼쪽)]

아주경제 한준호 기자 = 국가핵융합연구소(소장 김기만)와 아바코(대표이사 김광현)는 3일 국가핵융합연구소에서 플라즈마 기술개발 분야 협력을 위한 상호협력 협약을 체결했다.

양 기관은 이번 협약을 바탕으로 상호 협력체계를 구축하고, 플라즈마 기술을 이용한 신개념 스퍼터 관련 기술 및 관련 장비 개발을 위한 융합연구 분야 발굴과 공동 연구를 추진할 계획이다.

스퍼터(Sputter) 기술은 반도체 및 디스플레이 등의 제작 공정에 필요한 핵심 장비의 하나로 플라즈마 내 대전된 이온과 타켓의 충돌에 의해 기판에 박막이 형성되는 원리를 이용하는 기술로, 현재 산업체에서 가장 보편적으로 쓰이는 박막제조 장치이며 경제적으로 양질의 박막을 제조할 수 있는 방법으로 꼽힌다.

아바코는 차세대 국가 전략 산업인 평판디스플레이(FPD) 및 박막 태양전지의 핵심장비를 개발하는 설비 전문 기업으로 해당 분야에 특화된 기술력을 보유하고 있으며, 관련 국책사업에 적극적으로 참여 하고 있는 국내 중견기업이다.

핵융합연구소는 지난 2010년 스퍼터 플라즈마 3차원 시뮬레이션 기술을 아바코에 이전한 바 있으며, 이후 신개념 스퍼터 장비의 원천기술인 플라즈마 발생원 개발과 디스플레이 관련 산업의 고부가치화를 위한 협력을 지속하고 있다.

이에 대해 김기만 소장은 “이번 협약체결을 통해 기업의 기술 경쟁력 향상과 관련 디스플레이 산업에 파급 효과를 나타낼 것”이라며, “연구소와 기업 간 상생의 모범 사례를 도출시킬 것을 기대하고 있다”고 밝혔다.