오 수석은 반도체 웨이퍼 표면의 불순물을 제거하는 세정장비의 국산화, 양성화 성과를 인정받았다. 특히 국내 반도체 제조용 장비의 원천기술을 확보한 공로가 인정됐다.
오 수석은 10나노급 반도체에서도 19나노미터 크기의 불순물까지 제거할 수 있는 세정장비를 개발했다. 반도체 장비 수율과 기업 경쟁력 강화 등 국내 반도체 장비산업 발전에 크게 기여했다는 평가다.
김 소장은 국내 최초로 대용량 데이터를 저장하고 추출, 분석하는데 최적화 된 국산 열기반 데이터베이스 관리체계를 개발했다. 과기정통부는 데이터 관리 기술의 혁신을 선도하고 우리나라 데이터의 관리, 보안 분야의 경쟁력을 강화한 점을 인정했다고 설명했다. 제품 고도화로 해외시장에 진출에 성공, 한국형 데이터 산업의 해외진출 토대도 마련했다는 평가다.
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