​[용어해설] 고순도 불화수소

불화수소는 반도체 및 디스플레이 세정에 사용된다. 불필요한 부분을 깎아내는 에칭(etching, 식각) 공정과 불순물을 제거하는 과정에서 사용되는 독성이 강한 부식성 기체다. 국내에서는 환경규제로 생산이 쉽지 않아 대부분 수입에 의존하고 있다.

최근에는 집적도 높은 반도체를 제조하기 때문에 이를 위해서는 미세한 오염까지 제거할 수 있어야 한다. 그만큼 고순도 불화수소가 필요하다.

현재 고순도 불화수소는 대부분 일본에서 생산되고 있지만 일부 국산화도 가능한 상태로 알려졌다. 국내 반도체 소재기업인 솔브레인은 지난 4월부터 충남 공주에 있는 불화수소 정제공장 증설작업을 해왔고 2개월 후에는 본격 가동에 들어간다고 밝혔다.

솔브레인은 그동안 초미세반도체 공정에 들어가는 액체불화수소를 직접 생산했다. 회사 관계자는 "공장이 가동되면 삼성전자와 SK하이닉스의 반도체 생산에 충분한 양의 고순도 액체 불화수소를 생산할 수 있게 된다"고 말했다.

 

[사진=게티이미지 뱅크]