과기정통부, 나노종합기술원에 ‘반도체 테스트베드’ 구축...소부장 국산화 탄력

핵심소재 성능 테스트 가능...17일부터 공식 서비스

"반도체는 국가의 수출 20%...투자 확대 추진할 것"

[사진=SK하이닉스 제공]

과학기술정보통신부는 국내 최초로 나노종합기술원(종기원)에 12인치(30cm) 반도체 테스트베드 구축을 완료했다고 16일 밝혔다. 오는 17일부터 국내 산·학·연 이용자에게 공식 서비스를 본격 추진할 방침이다.

국내 반도체 소재·부품·장비(소부장) 기업들은 종기원의 12인치 테스트베드를 활용해 반도체 핵심소재 성능 테스트를 신속하게 지원받을 수 있게 됐다. 반도체 분야 소부장 기술 자립화에 쓰이는 시간과 비용을 절감할 수 있는 길이 열린 셈이다.

반도체 생산용 소재·부품은 지난 20119년 7월 일본의 수출규제에 따라 우리나라 소부장 기술 자립화에 경각심을 불러일으킨 대표 품목이다. 그간 국내 반도체 소부장 기업들은 대기업 생산환경과 유사한 12인치 테스트베드가 국내에 없어 대기업 납품에 필요한 수준의 평과 결과를 얻는 데 어려움을 겪어 왔다.

대부분 중소기업은 많은 비용과 시간을 들여 해외 테스트베드를 이용하거나 종기원의 8인치(20cm) 장비를 활용한 기초 평가 수준에 만족할 수밖에 없었다. 이에 과기정통부는 지난 2019년 8월 종기원을 반도체 소부장 12인치 테스트베드 운영기관으로 지정하고 청정실과 핵심장비를 구축했다.

이조원 종기원 과장은 “현재 12인치 테스트베드는 40나노미터(nm) 패턴 웨이퍼(기판) 제작이 가능한 인프라로 반도체 핵심 소재와 장비 개발을 집중 지원할 예정”이라며 “향후 20nm급 패턴 웨이퍼 제작과 부품 테스트를 지원할 수 있는 추가 장비구축, 공정기술 개발을 추진할 계획”이라고 밝혔다.

김봉수 과기정통부 기초원천연구정책관은 “반도체 산업은 국가 수출의 20%를 담당하는 핵심 주력산업”이라며 “앞으로 반도체 분야의 발전을 위해 기초․원천 연구지원과 병행하여, 수준 높은 인프라 지원을 위한 투자 확대, 기능 고도화 등의 노력을 지속적으로 추진하겠다”고 설명했다.