[K-반도체 벨트] ‘반도체 슈퍼을’ ASML, 화성에 EUV 클러스터 조성

세계 유일의 극자외선(EUV) 노광장비 생산업체 ASML이 한국에 EUV 클러스터를 조성한다.

ASML코리아와 산업통상자원부, 경기도, KOTRA 등 4개 기관은 13일 경기 평택 삼성전자 사업장에서 이같은 내용의 ‘반도체 생태계 강화 연대·협력 협약’을 맺었다.

ASML은 2400억원을 투자해 경기 화성에 첨단 EUV 클러스터를 조성한다. EUV 클러스터는 노광기 관련 트레이닝 센터와 재 제조 센터가 집적해 있으며 300여명을 채용할 계획이다.

클러스터에서는 장비를 다루는 인력을 교육하고, 대당 가격이 1500억원~2000억원으로 고가인 장비를 재 제조해 수명을 늘려 활용할 예정이다.

이는 짧은 시간에 기술 추격이 어려운 EUV 노광 분야에서 외국투자기업 유치를 확대해 국내 반도체 공급망을 보완하겠다는 정부의 ‘K-반도체 벨트 전략’에 따른 것이다. 이에 정부는 투자 애로해소와 인허가 지원 등에 적극 협력할 예정이다.

네덜란드 기업인 ASML은 세계에서 유일하게 EUV 장비를 생산하는 업체다. EUV 장비는 반도체 초미세화 과정에 필수적으로 사용된다. 삼성전자와 TSMC와 같은 파운드리 업체의 경쟁력이 EUV 장비에 의해 결정되는 셈이다.

삼성전자는 ASML의 주주이기도 하다. 지난해 말 기준 삼성전자가 보유한 ASML 보유주식 수는 629만7787주로, 시장가치는 3조3505억원이다. 2012년 지분 3%를 매입한 뒤 2016년 절반을 팔며 수익을 얻었다. 하지만 ASML 지분 보유는 수익 보다는 관계 형성을 통해 EUV 장비 확보에 우위를 점하기 위한 것으로 풀이된다.

산업부 관계자는 “ASML의 이번 투자는 우리나라의 글로벌 반도체 생산기지로서의 위상을 재확인한 것”이라고 말했다.
 

EUV 장비 살펴보는 이재용 부회장. [사진=삼성전자 제공]