용인시, 올해 반도체 소·부·장 기업 4곳 기술개발 지원

차세대융합기술연구원 첨단장비 사용료 70%...내년 기업 한 곳당 최대 1000만원까지 지원

엠케이전자 관계자가 차세대융합기술연구원 보유 장비 활용해 연구를 하고 있다

경기 용인특례시(시장 이상일)는 올해 반도체 소재·부품·장비 기업 4곳의 기술개발을 지원했다고 27일 밝혔다.
 
시는 차세대융합기술연구원과 협력해 관내 기업들이 연구원의 연구 장비나 시설을 20% 할인된 가격으로 이용할 수 있도록 했다. 또 장비 사용료의 70%, 기업 한 곳당 최대 400만원까지 지원했다.
 
대상 기업은 반도체 장비 생산 기업인 테스와 디에스이테크, 반도체 후공정에 사용되는 부품을 제조하는 엠케이전자, 반도체 제조 공정에 쓰이는 식각액 등 특수 화학제품을 생산하는 이엔에프테크놀로지다.
 
특히, 이엔에프티크놀로지는 이번 지원을 통해 프로세스 케미컬 원재료의 순도 분석과 개발 제품 성능 분석 등을 진행해 고객사의 연구라인 평가에 진입하는 성과를 얻었다.

 

차세대융합기술연구원 클린룸[사진=용인시]

엠케이전자(주)는 연구원이 보유한 전자빔으로 미세 구조물 시료 표면을 관찰하는 고분해 현미경 FIB 등의 연구 장비를 활용해 제품 성능을 향상할 수 있었다. 또 ㈜테스는 연구 장비를 활용해 반도체 공정에서의 문제점을 파악하고 개선 방안을 도출해 냈다.
 
내년부터는 기업 한 곳당 최대 1000만원까지 장비 사용료를 지원받을 수 있도록 지원 한도를 늘릴 계획이다.
 
시는 관내 소부장 기업의 핵심 기술 유출 방지도 지원하기로 했다. 시는 이를 위해 성남·이천시, 국가정보원, 경기남부경찰청, 경기지방중소벤처기업청, 한국반도체산업협회 등 6개 기관과 ‘반도체 기술 보호 업무 협약’을 맺었다.
 
협약을 통해 시를 비롯한 6개 기관은 핵심 기술 유출 사고 대응을 위한 실무협의회를 구성하고, 용인성님·이천시 소재 반도체 소부장 기업을 위해 ‘기술 보호 세미나’를 열고, 기업 재직자 대상 기술 보호 교육 등을 운영키로 했다.
 
이와 함께 관내 기업들의 전략기술 유출 대응 지원 차원에서 내년부터는 ‘기술보호 정책보험’ 가입 비용의 90%를 지원할 예정이다.
 
시 관계자는 “앞으로도 더 많은 반도체 소부장 기업이 혜택을 받을 수 있도록 R&D 지원 등 다양한 지원 사업을 운영해 나가겠다”고 말했다.