이노메트리, 중우엠텍과 손잡고 유리기판(TGV) 상용화 공동추진

[사진=이노메트리]

2차전지용 X-ray(CT) 검사솔루션 전문기업 ㈜이노메트리가 지난 21일 반도체 유리가공 부품 전문기업 ㈜중우엠텍(이하 JWMT)과 전략적 기술협약을 체결하고 유리기판 사업 분야에서 공동개발 및 상호협력을 추진한다고 밝혔다.

이노메트리는 2차전지 내부를 X-ray 또는 CT로 촬영, 분석하여 불량을 찾아내고 화재를 예방하는 비파괴검사장비 전문업체다. 2차전지 부문에서는 세계최고 수준의 기술력과 시장점유율을 자랑하며, 표면을 투과하여 검사하는 솔루션 특성상 물리적 손상 없이 내부를 확인해야 하는 모든 산업분야에 적용할 수 있다.

이노메트리는 JWMT와의 이번 협약을 시작으로 자사 검사솔루션의 전자반도체 부문 사업 진출을 본격화할 계획이다. 지난 해 적층형 메모리 반도체 내부를 CT로 검사하는 장비개발 국책과제에도 선정된 바 있으며 금번 기술제휴를 통해 반도체 유리기판 분야의 핵심기술인 TGV(Through Glass Via, 유리 관통 전극제조)용으로 개발한 비파괴검사장비의 정밀도를 고도화하는 기술협업을 진행할 예정이다.

TGV는 기판의 중심인 '코어'층을 유리로 만들고 미세한 구멍을 뚫어 그 속을 구리로 채워 배선을 만드는 기술인데 미도금, 충진불량, VOID(기공)생성 등 마이크로미터(μm) 단위의 작은 불량도 X-ray(CT)로 검사하면 광학, 초음파 등 기존 방식 대비 가장 정밀하게 검출해 낼 수 있다.

JWMT는 유리기판 시장에서 레이저를 이용한 유리기판 미세가공 기술을 바탕으로 두각을 나타내고 있는 강소기업이다. 특히, TGV 기술은 글로벌 대형 기판회사들과 상용화 협력을 진행 중인 것으로 알려졌고, 지난 해부터 국내 공장에 월 5천장 규모의 유리기판 양산라인 설치도 시작했다.

JWMT 박성수 대표는 “유리소재는 기판으로 쓰기 좋은 물성을 가지고 있음에도 가공이 어려워 진입장벽이 있었으나 당사의 독자적인 미세가공 기술을 통해 유리기판을 이용한 고성능 반도체 패키징도 문제없이 가능하다”며 “이노메트리 검사기술과 제휴하여 더욱 높은 품질의 유리기판 제품을 만들고 글로벌 시장의 게임체인저로 거듭날 것”이라 전했다.

이노메트리 이갑수 대표는 “전자반도체 부품의 고밀화초미세화로 비파괴검사가 필요한 영역이 점차 늘어나고 있어 당사는 검사기술센터를 통해 다양한 산업군에 적용할 수 있는 검사장비 및 AI SW의 선행개발을 지속하고 있다. 주력 사업인 2차전지 분야에서도 LFP, ESS, 전고체 등 국내 핵심고객사의 전략 양산라인 수주를 통해 시장 지배력을 계속해서 높여가고 있다”고 밝혔다.